业界音讯称爸爸与女儿,三星电子正在为下一代HBM接头包括无焊剂在内的多种键合本事。
三星电子自本岁首起,已与国外主要配结伴伴驱动了对无焊剂键合本事的初步评估使命。
该本事将应用于 HBM4(第六代),见解是在本年年底前完成评估。
当今三星电子接受 NCF(非导电性粘接薄膜)行动HBM制造的后工序本事。
HBM是一种通过垂直堆叠多个DRAM来擢升数据处置性能的存储器半导体。它通过 TSV(硅通孔)在每个DRAM上钻出渺小的孔,并以电气面貌联络这些孔。为了联络各个DRAM爸爸与女儿,使用了渺小突起方式的微凸点。
三星电子一径直受的是TC键合工艺,即在堆叠的每个DRAM之间插入NCF,并从上方进行热压。NCF在高温下融解,起到联络凸块与凸块、固定芯片间的作用。
无焊剂本当事者要应用于 MR-MUF(Mass Reflow-Molded Underfill)。MR-MUF 不使用薄膜,而是哄骗液态的EMC(环氧树脂与无机二氧化硅羼杂而成的模塑材料)。
MR-MUF在每堆叠一个DRAM 时,会先进行临时热压接合,待全王人堆叠后,另类图片激情再通过加热(回流焊)完成接合历程。
随后,在各芯片之间无流毒地注入EMC。EMC起到复旧各芯片的“底部填充(Underfill)”以及防御外部混浊等作用。
成人熟妇小说在线在现存的MR-MUF工艺中,为了去除残留在凸点上的氧化膜,会先涂覆一种称为助焊剂(flux)的物资,然后再清洗掉。
然则,跟着HBM的输入输出端子(I/O)数目在HBM4中比较之前翻倍至2024个,以及DRAM堆叠层数的加多,凸点之间的间距也会随之收缩。
这种情况下,助焊剂可能无法被绝对清洗干净,从而可能挫伤芯片的可靠性。
对此,半导体行业淡薄了无焊剂焊合决议。
尽管开拓厂商在无焊剂本事上的行为别离爸爸与女儿,但中枢在于不使用焊剂而去除焊球周围的氧化层。
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